创新链产业链融合发展！甬江实验室微纳平台8英寸验证线通线

　　图为微纳平台工作人员正操作设备。

　　11月18日，甬江实验室信息材料与微纳器件制备平台（以下简称“微纳平台”）验证线通线仪式举行。

　　微纳平台是甬江实验室在电子信息材料与器件领域布局建设的重要公共科研支撑服务平台。该平台聚焦“芯片异构集成”与“微纳光学”两大方向，围绕高速通讯、元宇宙、自动驾驶和智能机器人等未来产业所需的核心半导体制造技术，提供从光电芯片材料生长、器件制备、模组开发到检测验证全流程前沿工艺技术开发，以及先进的验证手段和系统的解决方案。

　　微纳平台拥有逾百台高精尖设备，已建成6英寸研发线和8英寸验证线各一条。“我们致力于成为支撑前沿科技创新、引领微纳制造共性技术、赋能产研生态的开放、共享型科创服务平台。”甬江实验室微纳平台技术负责人张瓦利说。

　　截至目前，甬江实验室微纳平台已与北京、上海、长沙、苏州等全国多地的近30家企业、高等院校、科研院所合作。赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司也是其合作伙伴，专业从事半导体晶圆的产品制造、工艺开发和技术服务等业务，在业界享有盛誉。

　　“我们企业内的产线忙于量产，用于创新的时间较少。”赛莱克斯（北京）新产品研发总监李治廷说。从今年3月开始，该公司主动“牵手”甬江实验室微纳平台6英寸研发线，已取得一系列创新成效，相关成果已服务半导体行业发展需求。8英寸验证线通线，让赛莱克斯（北京）等不少企业排队体验新的设备和工艺服务。

　　“在微纳平台，赛莱克斯（北京）等企业可借力这里的高精尖设备与高水平科研、管理人员，推进前期研发，降低自身创新成本。经8英寸验证线测试，进入成熟阶段后，企业可将创新成果导入自身的产线中进行量产。”张瓦利说，这让企业在忙于生产的同时，也可聚集更多力量发力创新，实现产品迭代升级，主动抢抓更多发展窗口期。

　　甬江实验室主任崔平表示，甬江实验室微纳平台将始终秉持开放共享的原则，恪守“中立”精神，持续完善平台功能，提升服务能力，为企业等单位提供强有力的关键基础设施、先进工艺开发与验证环境，加速科研成果转化为现实生产力，打通创新链、产业链上下游合作通道，形成良性互动的创新生态。